1. 什么是晶振片( Crystal Sensor )

薄薄圓圓的晶振片，來源于多面體石英棒，先被切成閃閃發光的六面體棒，再經過反復的切割和研磨，石英棒最終被做成一堆薄薄的（厚0.23mm，直徑13.98mm）圓片，每個圓片經切邊，拋光和清洗，最后鍍上金屬電極（正面全鍍，背面鍍上鑰匙孔形），經過檢測，包裝就可以出廠使用。晶體的質量和壽命不僅影響速率和厚度測量的準確性，更重要的是還決定著受控制的過程能否成功完成。

2. 晶振片( Crystal Sensor )的工作原理

石英晶體若在晶片的兩側施加機械壓力，則在晶片相應的方向上將產生電場，這種物理現象稱為壓電效應。如果在晶片的兩極上加交變電壓，晶片就會產生機械振動，同時晶片的機械振動又會產生交變電場。

3. 晶振片( Crystal Sensor )的分類

現在市場上常用的有兩種頻點，標稱頻率分別為5.000MHz、6.000MHz，根據膜厚控制儀的探頭設計不同，采用不同的電極形狀。

4. 晶振片( Crystal Sensor )的應用

石英晶振片是晶振膜厚控制儀系統中的速率和厚度傳感元件。這些晶體用于所有標準監控器或控制器以及單、雙或多晶體傳感器的真空應用

5. 晶振片( Crystal Sensor )的電極材料

晶振片的電極對膜厚監控至關重要，目前市場上提供三種標準電極材料：金、銀和合金。 用戶所鍍的材料不同，需選用不同的電極材料產品。

金：是最廣泛使用的傳統材料，它具有低接觸電阻，高化學穩定性，易于沉積。適合于鍍低應力膜料，如鍍Al Au Ag Cu。

銀：適合于鍍高應力膜料，如Ni、Cr、Mo、Zr、Ni-Cr、Ti、不銹鋼等。

銀鋁合金：適合于鍍介質光學膜，MgF2、SiO2、Al2O3、TiO2等膜料。

6. 晶振片( Crystal Sensor )膜厚監控原理

石英晶體法監控膜厚，主要是利用了石英晶體的壓電效應和質量負荷效應。當晶振片上鍍了某種膜層，使晶振片的厚度增加，則晶振片的固有頻率會相應的變化。

晶體的基頻越高，控制的靈敏度也越高，但基頻過高時，晶體片會做得很薄，很薄的晶體片易碎，一般選用AT切型頻率5～10MHz。采用AT切晶體片，其振動頻率對質量的變化極其靈敏，但卻不敏感于溫度的變化，具有精度高、靈敏度好等獨特的優勢，非常適合于真空薄膜淀積中的膜厚監控。

7. 晶振片( Crystal Sensor )再利用

1、銀或銀鋁合金溶于各種酸，不適合再處理利用，必需徹底除去晶振片上的膜層和電極，重新寄回我司鍍上電極。

2、金不溶于硫酸，用戶可以自已進行處理，去掉晶振片上膜層，清洗干凈再利用，但重復利用次數不易太多，否則質量穩定性降低影響使用。

8.晶振片清洗配方: 

20%氟化氫銨水溶液，浸泡6小時以上，浸泡后投入酒精擦拭，去水即可。